在使用碳化硅微粉作為研磨介質(zhì)切割硅片的過(guò)程中，碳化硅微粉在鋼線(xiàn)的帶動(dòng)下持續(xù)快速?zèng)_擊硅料表面，這一過(guò)程會(huì)釋放出大量摩擦熱量，同時(shí)碳化硅顆粒與硅棒之間的碰撞和摩擦而產(chǎn)生細(xì)小尖角破損、相對(duì)較大的晶硅碎片以及鋼線(xiàn)上金屬屑也將混入切割體系中容易造成過(guò)濾帶堵塞。
在切割過(guò)程中，被切割開(kāi)的硅片受切割體系溫度升高會(huì)發(fā)生翹曲，同時(shí)切割下來(lái)的雜物處在切割砂漿和棒之間的時(shí)候，將會(huì)影響砂漿的切割能力，這種情況下也容易產(chǎn)生線(xiàn)痕，同時(shí)這些雜物若進(jìn)入導(dǎo)輪也容易殘留在導(dǎo)輪槽中，對(duì)切割有較大的影響，一定要設(shè)法將切割熱及雜物及時(shí)帶出切割體系，因此懸浮液的主要作用是使混有碳化硅微粉的砂漿保持良好的流程性、均勻穩(wěn)定的分散在鋼線(xiàn)上，均勻平穩(wěn)的作用于硅料表面，同時(shí)及時(shí)帶走熱量和雜質(zhì)顆粒，確保砂漿質(zhì)量來(lái)保證切割出的硅片的質(zhì)量。
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